工業CT現有X射線斷層掃描（XCT）、康普頓散射斷層掃描（CST）、穆斯堡爾效應斷層掃描（MCT）等。主要應用於工業在線過程的實時檢測和大型工業部件的無損檢測。工業CT與傳統的X射線探傷機和工業電視相比，具有空間分辨率高、無損檢測、速度快等特點，因而在工業產品的檢測中具有其他方法無可取代的作用。在X射線實時成像設備方麵，可用於在線檢測熱軋無縫鋼管中的氣孔、劃痕、裂縫、分層等各種缺陷，同時給出鋼管的壁厚、同心度、單位長度的重量等；亦可用於發電設備的實時檢測。在大型部件檢測方麵，特別適用於火箭、核燃料元件、、飛機發動機等的無損檢測。大型工業CT的主要技術指標大約為待測物體直徑1—2.5米，有效掃描高度2—8米，大承重可達數十噸，空間分辨率為1線對/毫米，密度分辨率0.5%，裂紋分辨0.05毫米×15毫米，掃描時間每層3分鍾，圖像重建時間6秒，工作台平移空位精度0.02毫米，工作台旋轉空位精度10角秒。所用的輻射裝置可用X射線機、加速器，亦可用60Co、137Cs或192Ir的γ射線源。由於工業CT技術的發展，使用微焦點工業CT，並配備高級的CMOS平板探測器，可得到更好的信噪比和清晰度，因而可被用於電子半導體及電子元器件的檢測和失效分析。