工業CT現有X射線斷層掃描(XCT)、康普頓散射斷層掃描(CST)、穆斯堡爾效應斷層掃描(MCT)等。主要應用於工業在線過程的實時檢測和大型工業部件的無損檢測。工業CT與傳統的X射線探傷機和工業電視相比,具有空間分辨率高、無損檢測、速度快等特點,因而在工業產品的檢測中具有其他方法無可取代的作用。在X射線實時成像設備方麵,可用於在線檢測熱軋無縫鋼管中的氣孔、劃痕、裂縫、分層等各種缺陷,同時給出鋼管的壁厚、同心度、單位長度的重量等;亦可用於發電設備的實時檢測。在大型部件檢測方麵,特別適用於火箭、核燃料元件、、飛機發動機等的無損檢測。大型工業CT的主要技術指標大約為待測物體直徑1—2.5米,有效掃描高度2—8米,大承重可達數十噸,空間分辨率為1線對/毫米,密度分辨率0.5%,裂紋分辨0.05毫米×15毫米,掃描時間每層3分鍾,圖像重建時間6秒,工作台平移空位精度0.02毫米,工作台旋轉空位精度10角秒。所用的輻射裝置可用X射線機、加速器,亦可用60Co、137Cs或192Ir的γ射線源。由於工業CT技術的發展,使用微焦點工業CT,並配備高級的CMOS平板探測器,可得到更好的信噪比和清晰度,因而可被用於電子半導體及電子元器件的檢測和失效分析。